OPEN SYS系列全開放的顯微測試加工平臺
開放式掃描探針顯微鏡

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* 圖片僅供參考。根據用戶的具體需求,儀器的外觀可能會不同。

??? 多功能開放式掃描探針顯微鏡(SPM)系統(簡稱“開放系統”)是本原在十多年的技術積累和經驗提煉的基礎上所推出的換代產品。開放系統使科學工作者能夠對儀器進行必要的監控或改造,以滿足自身科學研究的特殊需要。用戶既可以把它當作一臺檢測儀器,又可以把它當作進行非常規試驗和二次開發的實驗平臺。

??? 與國外或本原以往研制的產品相比,開放系統最顯著的特點就是其多功能性和開放性。

? OpenSys 系列掃描探針顯微鏡(SPM)主要性能介紹

項目符號

單一探頭的多功能平臺結構,集成掃描隧道(STM)、原子力(AFM)、摩擦力(LFM)和靜電力顯微鏡(EFM)功能,工作模式包括接觸、輕敲、相移成像等

項目符號

獨特的探針類型和掃描器的編碼——解碼智能識別技術,全數字控制的參數設置和采集

項目符號

數字控制反饋回路,16-bit分辨的A/DD/A

項目符號

采用單一的外觸發時基和高速緩存,實現多通道信號的高速同步采集

項目符號

采用基于TCP/IP協議的高速通信接口,實現雙處理器——雙操作系統的協同工作和大容量高速數據交換,使系統具有極大的開放性

項目符號

系統內部預留多個可供輸入/輸出信號的處理通道,具有方便的擴展能力

項目符號

系統外部預留標準開放接口,滿足用戶對儀器進行二次開發的需求

項目符號

具有I-V曲線和力曲線等測量分析功能

項目符號

具有圖形刻蝕模式和矢量掃描模式的納米加工技術

項目符號

具備超媒體用戶界面的納米操縱工具

項目符號

用戶控制端軟件兼容Windows 9X/ME/NT/2000/XP/7/8/10操作系統

項目符號

分析處理軟件在數據類型識別方面采用固定編碼和動態編碼兩種技術,實現系統的開放性和可擴展性

項目符號

掃描區域多種分辨率選擇及高度、對比度的實時調整,可連續采集、存儲和重現動態過程

項目符號

實時定點測試功能

項目符號

方便的鼠標控制掃描區域平移、剪切功能,掃描角度連續可調,多種樣品傾斜度實時校正功能

項目符號

樣品粒度和粗糙自動分析功能

? 性能指標

項目符號

分辨率: STM:橫向 0.13nm? 垂直 0.01nm(以石墨定標) ???
??????????????? AFM
:橫向 0.26nm? 垂直 0.1nm (以云母定標)

項目符號

電流檢測靈敏度:≤10pA

項目符號

力檢測靈敏度:? 1nN

項目符號

空間定位精度:? 0.5nm

項目符號

預留輸出信號通道數:6ch ??1ch±200V5ch±10V16-bit DAC

項目符號

預留輸入信號通道數:16ch ??100kHz采樣率,16-bit ADC,帶可控低通濾波器和可控增益放大器)

項目符號

預留頻率合成輸出: 2ch??(振幅為02V;頻率為DC1000kHz32-bit分辨)

OpenSys 系列掃描探針顯微鏡包括如下標配或選配件

項目符號

集成STMAFMLFM等多種模式的掃描探頭 ?

項目符號

在線控制/后處理軟件

項目符號

主流配置微機,預裝Windows操作系統

項目符號

1μm? ×? 1μm Scanner

項目符號

20μm × 20μm Scanner

項目符號

50μm × 50μm Scanner(選配)

項目符號

70μm × 70μm Scanner(選配) ?

項目符號

100μm×100μm Scanner(選配)

項目符號

光學輔助顯微系統(選配) ?

項目符號

可附加第二顯示器(選配)

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